二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9390647 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811
ID: 9390647
Epitaxial reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811是专为半导体工业而开发的高性能、通用等离子反应器。它能够执行各种过程,包括蚀刻、沉积和清洁。7811的设计目的是以最短的安装时间和成本提供精确的结果。该反应堆提供了一个适用于先进开发实验室和生产环境的连续晶圆处理的统一机器平台。它被设计成既健壮又灵活,可以为各种任务配置。反应堆具有4.6米^3的活性室体积,使其能够单批处理许多晶片或基板。还利用双频射频电极设计,实现了优化蚀刻效果,减少了等离子体中心漂移。这造成等离子体在整个腔室中的均匀分布。7811还融合了具有超低流量切换技术和快速调谐功能的先进气体输送系统。这样可以在气体和设置之间进行即时切换,并具有更大的处理灵活性。反应堆还配备了先进的自校准系统,能够精确的过程控制和可重复性。此外,这种等离子体反应堆提供了优越的维护能力。它有一个最终用户可访问的主燃气箱和一个快速变化的高流量气体歧管。它还利用空气中断系统对设备进行安全高效的服务。AMAT AMC 7811等离子体反应器是一种强健、功能强大的机器,适用于复杂的研发过程和生产应用。它旨在确保在一系列设置中获得最高质量的结果,即使需求不断变化。
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