二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821 #9281782 待售

ID: 9281782
晶圆大小: 6"
优质的: 1983
Epitaxial reactor, 6" 1983 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821是一种先进的反应堆室,具有优异的性能和安全特性.除了新材料研究之外,该反应堆非常适合在ULSI应用中制造纳米颗粒前体。它由铝或不锈钢製成的超高真空(UHV)容器组成。它有一个中心反应室,在那里制备样品并加热。关键特征包括具有集成磁场传感器的热加热元件;气冷隔热罩;为反应过程产生电流的电极;一个气体入口和一个气体废气。这种装置的温度和向后偏置电子流相结合,使其适合于广泛的应用,包括半导体薄膜、均质外延和特殊材料的沉积。它还有助于研究纳米结构和新材料。AMAT AMC 7821的关键安全要素是其先进的气流控制系统.除了精确控制真空和温度水平外,它还监测和调节反应室内最多六种气体。这有助于减少因过热以及样品和环境污染而引起爆炸的风险。APPLICED MATERIALS AMC 7821具有理想的功率重量比,适用于高负载处理。其特点是加工时间短,颗粒吞吐量高,灵活性强。这使操作员可以轻松调整电压、温度和气体比例。这座反应堆也极为可靠,可以承受广泛的极端温度和运行条件。综上所述,AMC 7821是一种先进的反应堆室,适用于低负荷和高负荷过程。它具有出色的安全性和性能特点,非常适合包括纳米材料研究在内的多种应用。该反应堆提供了卓越的功率重量比、快速的处理和极高的可靠性。
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