二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821 #9390648 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821是一种等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，用于薄膜沉积应用。该设备是在集成工艺开发和工艺控制系统的基础上，设计用于涂覆具有介电和非介电材料薄膜的基板。AMAT AMC 7821改进了对传统热沉积技术的处理控制，增加了工艺范围。该系统由一个静电卡盘、两个射频源、一个集成涡轮泵和一个整体真空法兰封装组成。静电卡盘用于将加工过的样品保持在适当的位置，并允许精确控制待加工的面积和基板的形状。这两个射频源用于产生和控制沉积过程的能量，允许根据工艺要求定制条件。集成涡轮泵用于在薄膜沉积过程中实现低压环境，并允许更快的泵降循环。FM-7821还配备了完整的用户定义自动化包，包括各种温度和控制设置。这允许精确、可重复的处理条件，并将沉积过程中出现错误的风险降至最低。用户定义的自动化包还包括对过程气体的控制，如气体溷合、流速和腔内气体的分压。反应室采用铝涂层和不锈钢结构，采用优化的钟形罐设计，减少沉积过程中发生闪烁或电弧的机会。这种设计的精确度可以加快工艺周期，提高工艺的均匀性和稳定性，从而产生更高质量的薄膜。应用材料AMC 7821是为提高成本效益和环境安全而设计的.它最大限度地减少了该过程所需的材料和气体，从而降低了成本，提高了安全性。该装置还提供一系列安全传感器，用于监测空气中的微粒和与等离子体处理有关的其他潜在风险。综上所述，AMC 7821是一种多功能的PECVD反应器，为各种应用提供高效可靠的薄膜沉积，具有极好的精度和可重复性。该机器利用先进的用户定义自动化软件包提供精确的过程控制,并通过最大限度地减少所需的过程材料量来提供低成本和环境安全。是高精度薄膜沉积的理想工具。