二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9024606 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100是生产高品质集成电路的先进等离子反应器设备。该系统使用气体、氧气、氢气和氮气的组合，用热产生的等离子体将物质沉积在基质上。AMAT AMS 2100的腔室包含用于制造高能等离子体的高功率射频发生器，以及在加工过程中用于固定基板的机械晶片卡盘。该机组还有一个辅助电源，用于在加工过程中控制基片的温度。机器设计具有独特的蚀刻和沉积能力组合,使设备能够以尽可能最低的成本和最高的产量成型。APPLICED MATERIALS AMS 2100的等离子体工艺在最窄的线宽、高密度介电层和较低的表面粗糙度下提供了极好的阶梯覆盖。其低温退火特性保证了材料的最高质量附着力和优越的器件性能。该工具还具有较高的沉积速率，具有优异的介电均匀性和更好的底部覆盖率。该工艺可用于铜、钨和铝金属化以及介电、绝缘和聚合物膜的沉积。AMS 2100具有一系列控制功能,可提供高精度的过程控制,包括温度、压力和流量控制。该资产具有广泛的流程配方功能,具有用户定义的参数,可针对特定应用程序进行优化。灵活的控制功能允许实时调整参数以获得最佳结果,而高级功能则允许自动优化沉积环境。AMAT/APPLICED MATERIALS AMS 2100的可重置室简化了基板交换，最大限度地降低了污染风险。该模型还采用了无需手套箱即可快速装卸样品，最大限度地降低了颗粒污染和环境污染的风险。工艺监视器设计用于监控生产过程中的腔室压力、温度和气流,以确保工艺的完整性和质量。总而言之，AMAT AMS 2100是一种先进、用途广泛的反应堆设备，可用于生产多种集成电路产品。它提供了出色的工艺控制、自动化的优化功能和简化的基板交换。其优越的阶跃覆盖率和高的沉积率能力使设备能够快速而高产率地形成。