二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9068943 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMS 2100反应堆设备设计用于半导体制造过程，为金属、介电和III-V半导体材料提供先进的沉积能力。它由三个主要组成部分组成：加工室、气体输送系统和控制器。工艺室：工艺室的设计目的是为制造半导体基材和晶片创造必要的压力、温度和气体条件。它采用了一种新颖的无隔片设计，不需要盖子，并允许将加工气体直接输送到腔室的中心。该室的设计也具有灵活性，以适应广泛的工艺要求，包括与多源技术（CVD、PECVD、PVD等）的单元集成。该室采用创新的不锈钢和特氟龙结构，为基板提供了高效的热传递和热管理。气体输送机：GDS控制工艺气体的流动，并配备先进的控制功能。这包括对气流、总流量水平和压力的独立控制。GDS还被设计为与其他来源相结合，并与各种工艺工具相兼容。控制器：控制器旨在提供整个AMAT AMS 2100工具的统一视图。它配备了高级图形用户界面（GUI）功能,可轻松设置和控制资产。用户可以从控制器的控制面板快速访问所有参数和诊断信息。该软件还允许从计算机或平板电脑进行远程访问和数据管理。总体而言，APPLICED MATERIALS AMS 2100反应堆旨在满足大型半导体制造过程中最高水平的性能和可靠性。它采用独特和集成的模型设计方法，能够对过程气体进行更好的控制和有效的热管理。控制器提供直观的用户界面,便于设置和控制。这使得AMS 2100反应堆成为任何半导体制造设施的绝佳选择。