二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMS 2100 #9269434 待售

AMAT/APPLIED MATerials AMS 2100是一种广泛使用的化学气相沉积（CVD）反应器，适用于各种薄膜材料的沉积。它在广泛的增长条件下提供高性能、经济高效的沉积。反应堆的最高温度为2000 °C，令人敬畏的功率水平高达5000 W，并且可以处理高达2200平方英寸的基板。它具有集成的安全功能,可以手动或编程操作。AMAT AMS 2100设计为在大面积基板的整个表面提供均匀沉积。它具有一个多区域供暖平台,根据配置,可变区域从4到10不等,可容纳直径12英寸或2200平方英寸的基板。它带有一个用于快速基板处理的垂直敏感器升降机，可以供应氮气、氙气、硅烷、氨和其他工艺气体，用于不同的沉积应用。反应堆采用双泵高级涡轮分子真空设备，使用扩散泵时最大底压3x10-7 Torr，提供出色的工艺控制和均匀性。它具有分区抽水几何形状和独特的气流路径设计，以尽量减少气相停留时间和节约气体使用。反应堆还配有先进的温度控制器和专用的温度、压力、热应力和气体超压安全系统。APPLICED MATERIALS AMS 2100还设计用于更安全的操作和维护。它带有集成的安全系统和编程的安全协议,以确保安全运行。反应堆的控制面板可用于手动操作，包括设置生长参数、监控过程条件和关闭系统。它还有一个程序操作的过程控制单元，允许连续和无人值守的增长。还有多种其他特性和选择，都是为了使AMS 2100 CVD反应堆成为一种用途广泛、可靠的薄膜沉积机器，具有各种应用的优越性能。