二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ASP Chamber for P5000 #293642390 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ASP Chamber是一种最先进的反应堆，用于纳米级的材料加工。该反应堆结合了两种主要技术：基于等离子体的蚀刻和先进基板加工。基于等离子体的蚀刻用于清洁、表面处理和纳米尺度的蚀刻材料。蚀刻的等离子体源是由一个专有的双频磁控管源提供的，它能够在广泛的材料上以高选择性和各向异性进行蚀刻。这种蚀刻还进一步增强了感应耦合等离子体源、远程HF发生器和高密度源。此外，该蚀刻能力还得到了原位基板加热选项的补充，该选项可提供快速、均匀的温度控制，从而实现均匀的蚀刻速率和出色的控制。AMAT ASP室的第二个组成部分是先进基材加工（ASP）技术。这项技术提供了一套独特的能力，包括化学沉积和原子层沉积（ALD）。ASP为化学沉积提供了一套先进的工艺气体、一个专有的朗缪尔-布洛杰特平台和集成质谱。这种工艺气体可以精确控制纳米级的薄膜厚度和均匀度。APPLICED MATERIALS ASP Chamber的ALD功能由Massively Parallel ALD Source （MPALS）启用。该源提供了高精度沉积的能力，具有良好的能量和通量控制，可在大基板上均匀沉积。此外,集成的温度循环坡道进一步实现了ALD工艺,可提供精确的成分控制、出色的热隔离和均匀的膜密度。总之，ASP腔室作为一种强大的制造、加工和沉积工具，以满足最先进的纳米级应用的要求。该反应器提供对蚀刻参数的精确控制，以及化学和原子层沉积，以满足独特的纳米级加工要求。
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