二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Axiom Chamber for Centura #293665730 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS Centura公理室,通称公理室,是一种最先进的半导体加工反应堆。这个先进的系统是专门为生产各种苛刻的半导体器件而设计的。它具有高精度加工和创新的集成设计,非常适合高质量晶圆生产。公理室采用先进的集成设计,使其成为同类中性能最高、最可靠的。腔室由主反应堆主体、腔盖、顶板、底板、励磁线圈、石英窗、屏蔽和正时机构组成。集成设计消除了传统的闸阀,减少了工艺部件与腔壁之间的元件数量。这样可以最大程度地减少需要对齐的点数,并提供更好的密封。公理室的核心是其强大的等离子体源,它利用挥发性前体的热分解来产生和维持热的、高反应性的气态反应物室羽流。短路光学器件从羽流中过滤离子和中性粒子,并将它们引导到取样窗口进行归位和剖析。然后通过对电压、温度和压力的实时控制来完成过程分析。除了强大的集成设计外,Axiom Chamber还提供多种功能,使其成为独一无二的功能。其先进的集成技术减少了负载的气动和电机,而其石英窗设计消除污染。该室也是第一个具有温控盖和高纯度、多步气体喷射系统的生产室,以改进工艺控制。固有的过程重复性保证了高晶圆的均匀性和一致性。公理室的设计考虑到了安全性。屏蔽层提供了紫外线辐射的保护,水平腔室取向消除了底部污染的风险。其低调的机身允许最低限度的曝光和改进的人体工程学。AMAT Axiom Chamber for Centura是一个先进的系统,为现代半导体器件的生产提供了强大可靠的解决方桉。它的集成设计最大限度地减少了需要对准的点的数量,并提供了卓越的过程控制,而其先进的安全功能提供了额外的保护,使其免受紫外线辐射和污染。公理室具有固有的工艺重复性、高晶圆均匀性和耐污染性,是要求最高的晶圆生产的理想选择。
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