二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AxZ Chambers for Endura CL #9313565 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS AxZ Endura CL室是一种反应室设备,非常适合各种沉积过程,包括薄膜沉积和蚀刻。该系统设计用于在半导体基板上生产用于半导体制造、MEMS/MOEMS、LED、OLED、太阳能电池制造等应用的薄膜。AxZ腔室单元由两个组件组成：主体和Endura CL模块。AxZ腔室主体由不锈钢构成，旨在提供最大的结构完整性和可靠的操作。它具有创新的设计，使局部沉积非均匀性最小化，以便在晶圆的整个表面提供均匀的沉积。Endura CL模块由E-Chamber、中央预热单元和排气烟囱组成。E-Chamber由有盖腔室、工艺气体入口和晶圆提升销组成。预热单元由石英管加热器、红外灯和热电偶组成，均与E-Chamber热隔离，以防止工艺污染。排气烟囱设计用于快速疏散蚀刻或沉积过程中产生的任何危险或有害物质。Endura CL的AxZ腔室是化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、电化学沉积（ECD）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等广泛沉积过程的理想选择。这台机器可以容纳直径达8英寸的晶片，并且可以加工基材，如硅胶、钛和铝。它还具有较高的安全壳（HCL）能力，以提高操作过程中的安全性。此外，AxZ Chamber for Endura CL可以在手动和自动模式下运行，使其成为生产线制造的理想选择。综上所述，AMAT AxZ Chambers for Endura CL是一种用途极为广泛的反应室工具，设计用于可靠的性能和精确的晶圆处理。它具有坚固的不锈钢主体和模块化的Endura CL模块,可增强功能,并可容纳多种晶圆类型。此外，它与各种沉积工艺兼容，能够在手动和自动模式下工作。Endura CL的AxZ腔室是半导体制造、MEMS/MOEMS和其他相关应用的理想选择。