二手 AMAT / APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SE #293631717 待售

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反应器
製造商
AMAT / APPLIED MATERIALS
模型
BPSG Chamber for Producer SE
ID: 293631717
优质的: 2004
MKS Astron EX RPS CLS208 Watlow controller ALN Ceramic heater 1-1/8 C-Seal surface mount gas panel 0195-01042 AC Box 1080-00126 Heater lift driver 0190-13840 Pin lift driver Manometer: 20T / 1000T Pressure switch: 10 Torr MKS 683B-31931 Throttle valve NC 021010-1 ISO Valve Process kit: Top liner Middle liner Bottom liner Pumping ring Lift hoop Gas panel: Gas line / Gas / Size / MFC / Valve 1 / O3 / - / - / - 2 / O3 / - / - / Hamlet 3 / O2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 7 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 8 / N2 / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 9 / HE / 30000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 10 / N2-Purge / - / - / Hamlet 11 / N2-Purge / - / - / Hamlet 12 / NF3 / 5000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet 13 / HE / 5000 SCCM / UFC-8565C / Hamlet 14 / AR / 15000 SCCM / UFC-8565 / Hamlet Liquid 1 / - / - / - / TEPO Liquid 2 / - / - / - / TEOS Liquid 3 / - / - / - / TEPO 2004 vintage.
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AMAT/APPLIED MATERIALS BPSG Chamber for Producer SE是一种高性能反应器系统，设计用于在半导体制造过程中沉积硼磷硅酸盐玻璃（BPSG）薄膜。该腔室是AMAT Producer SE平台的关键组成部分，该平台是半导体工业中广泛应用的一系列薄膜沉积应用系统。BPSG室利用化学前体和工艺参数的独特组合，沉积具有优异均匀性、纯度和薄膜质量的BPSG膜。BPSG薄膜通常用作半导体器件中的绝缘层，以提供器件不同层之间的电隔离，并将器件表面平面化，用于后续的处理步骤。腔室配备了先进的工艺控制能力，包括对气体流速、温度、压力和等离子体参数的精确控制，以确保对沉积过程的严密控制，达到所需的薄膜性能。该室还具有高度的自动化和与Producer SE平台的集成，允许无缝操作和高效的生产工作流程。APPLICED MATERIALS BPSG Chamber的一个关键优点是它能够在复杂的器件结构上沉积具有高膜密度、低杂质水平和极好的步进覆盖率的BPSG薄膜。这对于确保半导体器件在诸如集成电路、内存器件和传感器等要求苛刻的应用中的可靠性和性能至关重要。该室采用模块化架构设计，便于维护、维修和升级，以满足不断变化的流程要求。它配备了最先进的安全功能，包括气体监测和联锁系统，以确保安全运行，并将洁净室环境中发生事故的风险降至最低。AMAT/APPLIED MATERIALS BPSG Chamber的设计也考虑到可持续性，包括节能组件、废物最小化战略和遵守环境法规。这与半导体行业减少其环境足迹和采用绿色制造做法的承诺相吻合。综上所述，生产SE的AMAT BPSG室是一种在半导体制造中沉积BPSG薄膜的高度先进可靠的反应器系统。它的尖端技术、过程控制功能和自动化功能使其成为寻求为其设备实现高性能BPSG薄膜的半导体制造商的理想选择。
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