二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Carina Mesa #9251127 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9251127
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Etcher, 12"
EFEM
TM Module
Chamber B
Axiom chamber D
AC Rack
Accessories included
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Carina Mesa反应堆是一种全自动沉积设备，旨在使高质量的薄膜沉积到广泛的表面。AMAT Carina Mesa是一种双区、高效或HIEEP、反应堆，CVD工艺的溷合型。该系统能够在高达1000C的温度下沉积各种材料，包括金属、氧化物和氮化物。两区设计有助于最大限度地提高效率，因为它允许在第一区引入新的反应物，而无需关闭装置。应用材料Carina Mesa反应堆可以连续运行，这意味着反应物可以在机器运行时装卸，从而提高吞吐量和过程稳定性。嘉玲梅萨反应堆装有温度监测、压力监测、反应性气流控制、自动配方控制等多种先进工艺控制。高级工艺诊断,如RIE/ICP蚀刻和原位板电阻测量,也可与此工具一起使用。这样可以实现更大的流程优化和重现性。AMAT/APPLICED MATERIALS Carina Mesa反应堆还配备了多项安全功能，包括监测温度、压力、气流等多种因素的能力。资产还有一个紧急关闭开关和随附的警报，以便在发生任何危险情况时作出快速反应。总体而言，AMAT Carina Mesa是一个最先进的沉积反应堆，能够在精确的温度下沉积高质量的薄膜，具有极高的可重复性。它的两区设计和自动化能力保证了高吞吐量和最佳的过程稳定性，而其先进的过程控制和安全特性进一步使该模型成为任何沉积任务的理想选择。
还没有评论