二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Carina #9240272 待售

AMAT（应用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS Carina Reactor是一种设计用于半导体制造的先进沉积设备。该系统利用物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）技术以精确和精细的方式在基板上沉积薄膜。AMAT Carina反应堆在吞吐量、统一性和整体性能方面提供优势，使其成为广泛制造应用的理想选择。该装置采用高效、模块化的两部分沉积室，使聚氯乙烯和聚氯乙烯过程都能在单个沉积步骤中发生。底部被称为沉积室，包含了源、基板和目标材料，而上部则由真空容器组成。沉积室设有三个源，包括一个离子淋浴室、一个溅射源和一个电子束源，可以由电源单独驱动。该机还具有用于CVD加工的闭孔源配置和用于惰性气体输送的气体歧管。沉积室安装或安装在一个隔振、风冷的升降机平台上，可方便地快速装卸基板。还配备了可调基板加热器，为精准优质的效果提供了可调的温度控制。应用材料卡里纳反应堆还配备了先进的真空工具，为沉积过程提供了精确稳定的环境。它设计用于维持低压环境，并配有一系列压力安全阀和传感器，在过程中监测和调节腔室压力以及基板温度。资产还配有各种控制器和传感器，便于在沉积过程中进行监测和实时控制。它还采用了高级诊断和反馈算法,有助于确保流程质量和一致性。总体而言，Carina是一种高精度沉积模型，在复杂的半导体制造过程中提供了极致的性能和吞吐量。它具有先进的特点，是半导体制造应用的理想选择。