二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 DPN Gate Stack #293812988 待售

AMAT Centura 4.0 DPN Gate Stack是一种用于制造先进集成电路的化学气相沉积（CVD）反应器。它是一种多室设备，允许沉积一系列材料，包括最先进的硅化物、电介质、金属触点和钝化栅极氧化物。该系统配有坚固的气体管理单元，能准确控制压力和流量。反应堆还设有温度控制装置，可在所有室内进行精确的温度控制。通过分布在整个机器中的高分辨率温度传感器进一步增强了温度控制。Centura 4.0还配备了最先进的负载锁，以确保工艺室的均匀性，并具有较低的基板电容，以提高可重复性和减少充电。在沉积过程中，一个腔室预装有晶圆载体，然后下泵至指定压力，一般低于50毫托。晶圆基板被转载到负载锁中，转运室被关闭以创建一个孤立的环境。引入气体，对所有流量进行准确的感测和监测。然后调节温度和压力以确保整个腔室的均匀性，并启动过程化学反应。集成电路中使用的各种材料可以根据沉积参数沉积到晶片基板上。这包括：硅化物、电介质、金属触点和钝化栅极氧化物，以及高k电介质。对这些材料进行同轴监测，以确保达到所需温度，还可以监测某些工艺气体的浓度，如硅烷，以确保适当的反应。该工艺完成后，晶片从转运室释放出来，装入晶片运输机，准备运输或最终计量。Centura 4.0 DPN Gate Stack使工程师和科学家能够快速有效地制造高级集成电路,从而提高产量并提高性能。