二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 Radiance #9072172 待售
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已售出
ID: 9072172
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Platform RTP system, 12"
Chambers: A, B, D:
Chamber type: Radiance RTP
Lamp HTR
N2; PRCS/BTM/MAGLEV: 50/50/100slm
O2; PRCS 50/10slm, He: 50slm
Modifications:
CH-A.B.D Oximeter additional, Oxygen concentration monitoring
CH-A.B.D OLT additional functions, Remodeling the lamp annealing specification
Missing parts:
Slit Assy(Ch-A), 0010-03057
Slit Assy(Ch-B), 0010-03057
VHP Robot(Buffer), 0242-30245
Lamp head cooling water IN side hose (Ch-D)
Wafer suppor cylinder buttons (Ch-A)
FI Robot(FI), 0190-10300
APC (Ch-A), 0500-01147
Bu robot driver (Buffer), 0190-08277
RTC CPU Board (Ch-A,B,D), 0190-28454
FI Robot (FI), 0190-10300
ipump (LLK), 0190-27340
Maglev Controller (Ch-D), 0190-24282
Currently in storage
2003 vintage.
AMAT Centura 4.0 Radiance Reactor是一种半导体处理设备,利用高通量能力提供最佳性能。它是一个四室CVD系统，能够处理直径达200毫米的基板。Centura 4.0 Radiance Reactor具有高度的稳定性、可靠性和可扩展性,旨在满足半导体行业最苛刻的挑战。Centura 4.0辐射反应堆的四个腔室针对各种应用进行了优化，包括扩散、蚀刻和化学气相沉积。每个腔室能够泵送大批量气体，高达4.2 std L/min，以便在均匀流动和恒压的情况下进行高效处理。它还具有一个先进的温度控制单元，可以保持温度低至150 °C或高达1000 °C，提供广泛的工艺要求。此外，改进的气体处理部件和远程监测的使用为所有舱室提供了统一的过程控制。腔壁由石英制成，内表面用镍处理，确保长期稳定，防止污染。该机还配备了非接触式驱动工具,无需更换零件,如刷子和轴承,从而进一步提高了资产可靠性。此外,由四个腔室和高效的过程气体输送模型组合而成的高吞吐量能力提供了最大的吞吐量性能,同时最大限度地降低了整个过程的成本。Centura 4.0 Radiance Reactor提供了多项安全功能,例如自动点火设备、机械室互锁以增强安全性,以及设计良好的通风系统,能够成功快速地排出大量废气。此外，该单元的设计符合行业安全标准，包括SEMI S94和NFPA以及ATEX要求。Centura 4.0 Radiance Reactor是广泛的先进半导体应用的完美选择。它结合了可靠的高吞吐量能力、可扩展性和出色的过程控制,使其成为这个快速发展的行业中制造商的理想选择。
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