二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 #189613 待售
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已售出
ID: 189613
晶圆大小: 12"
Rev 4 HART mainframe only, 12"
Amat centura rev 4 mainframe & gas box
Previously fitted with with dual deep trench chambers
Top source
Chiller upgrade
With 2 load locks
2 load ports
MKS frca 26349 delta flow ratio controller
Main frame only
12" mainframe controller configuration:
A1- industry pack i/o
A2- industry pack i/o
A3- motion vacuum robot
A4- dnet 2-ch. Scanner
A5- dnet 2-ch. Scanner
A6- dnet 2-ch. Scanner
A7- serial
A8- processor
A9- (spare non-cpci slot)
A10- cpci power
B1- dnet i/o (dio. Combo)
B2- (empty)
B3- dnet i/o (dio. Combo)
B4- motion signal conditioner with otf
B5/B6- front end loadlocks
B7/B8- interlocks
B9- interlocks
B10- interlocks (test connector empty)
SMC ex180 sdn1 serial interface
2001 vintage.
AMAT Centura 4.0是为高级工艺开发和生产而开发的先进化学反应设备。它是一个群集工具平台和一个完整的系统集成平台,提供了一套强大的功能。该单元提供了高吞吐量的平台和可扩展性,旨在快速定制以适应新的流程开发。平台的核心是双区室,它为基板和工艺能量的均匀平衡和优化聚焦提供了理想的环境。双区腔内大气的精确控制产生了优越的工艺均匀性和可重复性,是Centura 4.0独有的。除了提供对工艺环境的卓越控制外,Centura 4.0还提供了一套广泛的高级功能,包括多个可编程参数、多级泵送功能和自适应工艺控制(APC),所有这些都有助于实现机器的六西格玛工艺优化功能。Centura 4.0还提供了一系列全面的湿法处理功能,并配备了自动化材料处理工具(AMHS),便于装载和卸载基材和材料以进行处理。AMHS支持快速的样品加载和卸载,以及降低与过程优化实验相关的停机时间。Centura 4.0还提供了一个自适应过程控制(APC)模块和一个专有的过程复制方桉,以实现最大的过程利用率和优化。APC模块分析过程结果,允许快速调整原位过程参数,以优化过程性能结果。过程复制模块确保由模块重新定位、环境条件的变化或新的加工化学的引入引起的所有过程都得到及时校正或最小化,以确保始终保持最佳的过程均匀性。Centura 4.0还提供高级可视反馈、实时跟踪和管理资产,以确保准确、一致地遵循所有流程配方。所有这些功能的结合确保了Centura 4.0能够提供卓越的工艺性能结果。总之,Centura 4.0是一种复杂的化学反应模型,它提供了高吞吐量平台、可扩展性和快速过程调整功能。它提供了具有高精度过程控制、自适应过程控制、过程复制方桉和视觉反馈的自动化物料处理设备。所有这些功能都集中在Centura 4.0中,为高级工艺开发和生产创建了强大而可靠的化学反应系统。
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