二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 4.0 #293820596 待售

ID: 293820596
Plasma system.
AMAT Centura 4.0反应堆是一种最先进的高通量沉积机,设计用于处理各种材料。该反应堆的设计目的是能够快速、高效和经济高效地制造复杂的设备,如半导体集成电路和光电元件。Centura 4.0配置了全自动过程控制设备,使操作员能够连续监控晶圆处理并减少停机时间。使用腔室标记功能,可以通过以太网连接从笔记本电脑或远程位置远程调整设置。温度控制器允许在200°C至400°C的范围内进行温度可调性调整,从而使沉积特性能够根据每次单独的处理运行所需的结果进行调整。基板冷却也可用于降低基板表面温度(Tm)。Centura 4.0反应堆的载荷锁定系统在过程循环过程中自动疏散工艺室,并保持反应堆室内清洁环境,确保从晶圆到晶圆的薄膜沉积一致。还提供定制的气箱配置,以方便气流优化和均匀的气体分布。此外,反应堆利用反射计和石英晶体监测等全套现场监测工具,使操作员能够实时监测工艺条件。反应堆配备了聚合物生长沉积(PGD)特性,提供了生产过程中外延生长的前所未有的控制。特殊沉积源的作用与脉冲基底脉冲相结合,产生了其他处理方法无法达到的薄膜性能。Centura 4.0还提供了一个内置的粒子控制单元,可以在沉积时连续监视、检测和消除粒子。这台机器可以检测和确保沉积过程的稳定性.总体而言,APPLIED MATERIALS Centura 4.0反应堆是一种下一代机器,旨在最大限度地降低生产成本并最大限度地提高生产能力。该机具有先进的工艺控制和全方位的沉积工艺能力,是高通量沉积和设备制造的理想工具。
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