二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH #9093316 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH
ID: 9093316
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
CVD System, 8" Process: PO Nit Dep 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH是为研发实验室设计的高度先进的反应堆。这台功能强大、用途广泛的机器能够进行各种工艺化学处理,设计用于研发应用,如半导体加工和纳米技术制造。AMAT Centura 5200 DLH具有许多使其成为杰出反应堆的特点,例如其先进的垂直和水平反应室、用于快速气体输送的Multi-Flex气体设备以及用于无忧远程操作的可编程SafeDetect气闸系统。此外,APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH可以配置不同级别的自动化,从而允许用户根据自己的特定要求定制计算机。Centura 5200 DLH的一次反应室直径为250mm,最高温度为800 °C,最大压力为70 bar。反应室包括多种气体管线、样品端口、压力和温度传感器,以及各种定制配件,如反应采样管线、数据采集系统、质量流控制器等。反应室还具有腐蚀性化学作用,并具有惰性净化/排气能力。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH也有一个八位样品前者,它允许样品在反应室中被分析之前被制备出来。样品前者包括各种特殊设计的具有不同电热特性的电镀板,以确保在所需温度下的最佳性能。AMAT Centura 5200 DLH还包括一个远程监控单元,允许用户从实验室外部监控反应过程。测量反应堆位置由机器的DeltaVision工具处理,该工具提供机器确切位置的实时反馈。这样可以精确控制整个过程。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH还有一台先进的射频发生器,提供干净有力的射频。此功能可设置为单频或双频操作,为用户提供对反应参数的全面控制。最后,Centura 5200 DLH还配备了可选软件包,允许用户自动执行流程并跟踪整个流程。此软件包包括高度可定制的界面、强大的控制功能、详细的分析和报告工具,可用于构建自动化操作序列。这使得AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH成为研发应用的理想反应堆。
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