二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH #9184768 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH是一种用于半导体制造的多室、双车道、感应耦合等离子体（ICP）反应器。该设备以200-300 mm/分钟的速度设计,具有优化的工作效率和高达2x75 mm的单个晶片吞吐量,可在各种工艺条件下提供强大的性能。系统设计采用两室配置，两室串联设置。第一室除了等离子体室和等离子体源外，还容纳电源和高压电源。下室装有化学机械抛光（CMP）表、端效应器和其他运动元件。中央计算机接口管理自动化和流程配方。该单元配备了基于直观触摸屏的用户界面，便于精确配置和控制。该反应堆包括利用先进的ICP技术为高沉积速率和均匀性而建造的最先进的等离子体源。它可以配置用于液体和气体输送系统，在第一室设有专用气体输送机。该工艺室配有坚固的陶瓷芯和精确的介电窗。其设计能承受较大的工艺压力，保持较高的选择性。为了确保精确的控制和可重复性,该工具除了具有超高速和超高频的频率和直流偏置控制外,还具有高达2MHz 4MHz射频磁化率。AMAT Centura 5200 DLH具有介电膜和硬膜,非常适合广泛的应用。它还提供了背面处理的灵活性,允许通过处理实现通硅。该资产设计用于批量和单晶片工艺，并具有适当的晶片船旋转和其他自动化操作。总体而言,APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH是一种高度通用的反应堆,可提供高通量和卓越的均匀性,满足各种工艺条件。它具有多室设计、先进的ICP技术和直观的用户界面，非常适合精细集成电路的制造。