二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH #9200051 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DLH（深杠杆高纵横比）反应堆是一种最先进的光刻工具，可以为各种市场生产下一代电路和元件。该工具用于半导体和电子工业的蚀刻、沉积和光掩模工艺。AMAT Centura 5200 DLH在一个最先进的反应堆中结合了深紫外线光刻、静电和化学机械抛光（CMP）、沉积和高纵横比蚀刻等多种先进技术。该工具专为70 nm的功能尺寸而设计,可产生功能尽可能最小的高级电路。它是一种灵活的生产工具,可快速适应掩码更改,从而实现更快的周转。DLH公司采用先进的成像技术,其功率级别高于其前代产品,从而能够生产出卓越的精密产品。其独特的深度杠杆蚀刻技术可确保最佳的蚀刻均匀性和临界长宽比,即使在低操作压力下也是如此。这样可以生产具有高长宽比和非常严格公差的元件。利用自动最佳配方算法控制和监控蚀刻过程，优化蚀刻速率和选择性。利用静电和CMP技术提供更大的过程控制、均匀性和精度。APPLIED MATERIALS CENTURA 5200 DLH中使用的深紫外线（DUV）光刻技术提供了优于其前代产品的分辨率。它以极短的波长运作，以使生产出更错综复杂、更精确的聚合物结构。系统可以产生曝光时间低至2秒的高分辨率口罩。工具中使用的等离子体沉积法效率高，提供均匀的材料沉积。精密空气轴承运动控制平台和先进的对准技术使过程控制和位置精度更高。Centura 5200 DLH是高容量生产环境的理想选择。其先进技术提供了更高的产量、更好的吞吐量和优越的产品质量。该工具还设计为能源之星认证组件的高能效。最终,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200 DLH是一种先进的光刻工具,可帮助生产精度、均匀性和吞吐量更高的精密产品。