二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS #9122814 待售

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ID: 9122814
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Poly silicon etch system, 8" (2) Chambers Position A: DPS Poly R1 Position B: DPS Poly R1 Position F: Orientor Narrow body load locks HP Robot Generator rack NBLL's System controller 1997 vintage.
AMAT(APPLIED MATERIALS)AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS是一种大型制造反应堆,设计用于制造和凋刻半导体器件如晶体管、芯片和其他电子元件。该反应器由石英室、气体输送设备和过程控制系统三部分组成。石英室是由石英制成的圆柱形室,一种天然存在的硅基材料。该腔室设计有一系列端口,用于在制造过程中容纳晶圆和气体。通过布置端口、气体和晶圆,制造商可以在商会创造多种产品。为防止污染,石英室进行真空密封和加热,以减少不需要的颗粒的存在。气体输送单元是AMAT Centura 5200 DPS的第二个组件。这台机器使制造商能够通过输送精确数量的气体在室内产生不同的反应。气体输送工具利用一套由资产过程控制软件监控的气体流量控制器、阀门和管道。通过精确测量每种气体中有多少被泵入反应堆,用户可以改变发生的反应类型。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DPS的最终组件是过程控制模型。这控制整个制造过程从头到尾。它控制气流、腔室温度、功率输入和腔室压力。它还监控电阻、击穿电压、移动性等重要参数。工艺控制设备还负责在达到预定限制时向制造商发出警报。Centura 5200 DPS反应堆是一种极为强大的制造工具,能够操纵和凋刻各种半导体器件。利用其石英室、气体输送系统和过程控制单元的先进特点,反应堆能够精确生产复杂的电子元件。
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