二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ #79721 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ是为介电和其他先进材料的沉积而建造的PECVD（等离子增强化学气相沉积）反应器。它具有一个大的可调工区动态优化，以最大程度的压力平衡和均匀性。AMAT Centura 5200 DxZ具有高吞吐量、低散热预算和坚固的设计,可在各种材料的沉积过程中提供最佳性能。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ采用三区通用工艺室设计。它宽敞的体积使得一次最多可以处理九个晶圆。设计由高性能排气支撑，快速去除反应副产物以维持最佳工艺条件。Centura 5200 DxZ也有低温晶圆加热的选项，以获得更大的均匀性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ能够从多种来源沉积半导体材料。这包括氢化硅、硅烷、TEOS、氯硅烷等工艺组分。该反应堆还利用传统的聚氯乙烯、超高纯度和低热预算技术来实现最大的工艺兼容性。此外，通过严格控制沉积功率，促进了光学厚膜的产生。AMAT Centura 5200 DxZ还具有高级诊断功能。它的探测器阵列和专用的TDM（推力沉积监测器）模块可以对沉积的薄膜进行精确的实时监测。然后可以调整系统,以补偿任何过程缺陷,确保最佳的一致性、一致性和质量。安全特性也没有被忽视。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ采用多种保护机制来确保安全运行,包括封闭式腔室、安全面板和气体排放系统。反应堆还有一个紧急关闭开关，以及一个自动端点检测机制，旨在保护人员和设备免受危险反应副产物的侵害。综上所述，来自AMAT的Centura 5200 DxZ是一个高性能、鲁棒的PECVD反应堆。由于其可调的工艺区域，高吞吐量和低热预算能力为各种晶圆处理应用提供了完整的控制。其先进的诊断和安全功能确保设备安全可靠地运行以提供最佳效果。