二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ #9091401 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ是一种下一代等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，设计用于将先进的材料层沉积在用于集成电路（IC）制造的基板上。PECVD工艺是传授厚度均匀且无缺陷的沉积膜的手段。AMAT Centura 5200 DxZ配备了多项功能,可增强性能并实现广泛的流程功能。它有两个腔室，每个腔室都有独立的电源，最多可同时安装两个薄膜。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ还得益于径向温度剖面仪、可变RF偏差和具有多个真空级别的先进泵送系统。反应堆基于高通量、低成本的制造平台，由AMAT专有的Simul-ProcessTM技术增强。该技术结合了实验和数值优化技术，以确保高质量薄膜和最佳沉积速率。Centura 5200 DxZ在广泛的过程中提供一致和可靠的结果,包括低和高k介电沉积、薄膜封装、侧壁剖面分析、源/排水工程以及浅层沟槽隔离。此外，其先进的腔室设计可防止金属污染沉积，并防止颗粒进入真空腔室，否则会对沉积的薄膜造成干扰和缺陷。APPLIED MATERIALS还提供了一系列工艺选项,以及同时执行多个工艺的功能。这些功能使用户能够利用其增强的吞吐量并减少总处理时间。此外，该系统的设计能耗比其前代产品少，使其成为一个对环境负责的选择，并且能效更高。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS提供了监测系统性能和优化流程的工具，从而延长了设备寿命并降低了拥有成本。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200 DxZ是一种先进、高效和经济的PECVD反应堆,旨在满足业界最严格的底物要求。它在一系列工艺选项中提供了卓越的性能、多功能性和生产率,确保了用于集成电路（IC）制造的先进薄膜的最佳沉积效果。