二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ #9200050 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ反应堆是微电子工业中使用的最先进的蚀刻沉积设备。AMAT Centura 5200 DxZ是一种自动化的平行板反应器,设计用于高级蚀刻和沉积应用。它提供了先进的过程控制和非常严格的过程参数控制。APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ反应器有一个由不锈钢製成的工艺室,可加热至1100 °C。这样既可以进行高温处理,也可以进行低温处理。该系统还具有高真空锁,提高了工艺稳定性和可重复性。Centura 5200 DxZ反应堆能够容纳直径达8英寸的晶片,并提供多种不同的处理技术,包括反应性溅射、退火、高温蚀刻和原子层沉积(ALD)。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 DxZ反应堆比传统的沉积和蚀刻系统有几个优点。其集成的过程控制单元允许精确控制基板温度和加工条件,以最小的偏差确保一致的结果。此外,反应堆为高通量应用提供了快速的循环时间。它还有一个远程监控机器,允许实时监控和调整,允许工程师分析和调整他们的过程,而不必在现场。AMAT Centura 5200 DxZ反应堆经过设计,满足了微电子行业日益增长的需求,是先进蚀刻沉积应用的绝佳选择。它以最小的变化提供了可靠可靠的处理能力,使用户能够从其过程中获得更好的产量和吞吐量。它的模块化组件还允许升级和可扩展性,允许用户在需求变化时轻松添加或升级组件。
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