二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Epi #9395804 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Epi是一种经济高效、高度可靠、可定制的半导体反应堆。利用其先进的工艺控制、加热和冷却系统以及精密的基板清洗，使半导体器件层的沉积、蚀刻和氧化成为可能。这种单晶片沉积/蚀刻系统广泛用于HBT、RTD、MPW器件层增长等几种复合半导体制造工艺中。这座Epi反应堆由一个标准负载单元组成，能够支撑300毫米晶圆尺寸，并含有广泛的材料，如铝、硅和砷化铵。它还包括一个方便用户的人机界面，便于操作和监测过程参数。此外,AMAT还提供延长保修期和服务期限的最大正常运行时间支持。其集成的等离子体源还可以实现更快的离子植入和蚀刻过程。Centura 5200系列以超高精度和均匀性而自豪,能够处理200 mm晶圆大小。以其即插即用的生产配置和较高的沉积吞吐量，极具生产优质器件层厚度、均匀性和提高产量的能力。其较高的吞吐量也支持大批量生产。为确保质量控制,APPLIED MATERIALS Centura 5300还包括几个现场传感器,用于测量和监视温度、压力及其他地下条件。其创新的UltimaEpi设计以先进的基板控制机构进一步提高了质量，提高了热均匀性。多个加热区和冷却区可选择增加最多六个区的数目,这有助于在较长的处理时间内保持晶圆温度一致。配备了全面的监控系统，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5300还提供了多个指标，以确保更好的流程可重复性。允许用户编程自己的配方参数，它有助于获得更高的产量和质量。这使客户能够自定义其生产,从而实现更大的灵活性和优化的结果。AMAT Centura 5200 Epi系统的使命是为业界领先的设备提供卓越的能力和运营效率。凭借卓越的可靠性和成本效益，它仍然是复合半导体生产应用中最受欢迎的平台之一。