二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF #9146382 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 HTF （High Terminary Furnace）是一种多用途的热处理工具,适用于高达850°C的高频应用,适用于广泛的金属化后退火、掺杂剂活化和多晶硅重结晶。5200 HTF在其设计中提供了许多功能,以促进一致的长期热处理。其独特的椭圆形设计包括水平和垂直温度场分布，使温度均匀性问题最小化。它采用双源、双频感应加热设计，在低、一致功率水平下提供高效。此外，它的高输出、两级水冷设备有效地维持了工艺温度，并进行了设计，以尽量减少任何工艺产生的颗粒物污染。一个全面的可编程逻辑控制器系统支持可靠的，可重复的过程控制。它配备了全套安全功能，包括过温互锁电路、水流监测和热成像。此外,PLC单元还可以存储大量的加工配方,使其能够快速连续地执行多个过程。该机的洁净室兼容设计具有密封的腔室，没有净化气体的要求，和一个双回收工具，无氟氯化碳制冷剂改进过滤器清洁。它还与AMAT Ultrapure™无污染环境的清洁资产相结合。5200 HTF是研发以及高批量、工业规模生产高质量电子设备的理想热处理工具。其先进的功能可实现卓越的温度均匀性和控制性,实现可靠的可重复热过程和卓越的产品质量。