二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+ #293820614 待售
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ID: 293820614
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Oxide dry etcher, 8"
(4) DXZ Chambers
HP Robot
DS80 Dry pump
(3) DS700 Dry pumps
(4) NESLAB 150 Chillers
(28) HORIBA Digital MFCs
Gases: CO, N₂, C₄F₈, O₂, CF₄, CHF₃, Ar
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+是半导体反应堆,属于半导体制造系统Centura平台的一部分。该设备能够对各种温度和工艺气体进行精确的沉积过程控制,从而实现高度可靠和可重复的薄膜沉积。该反应器配有调制器聚焦室(MFC)和净化室,可提供卓越的温度均匀性和过程控制。MFC通过均匀的气流和温度改善了反应环境。这为即使是最复杂的沉积技术提供了卓越的均匀性和可重复性。清除室有助于清除沉积过程后留下的残留副产物,同时确保低污染水平。它还配备了半导体工业标准工艺模块,包括沉积源、气体输送系统和基板加热器。作为模块化系统,AMAT Centura 5200 MxP+允许定制工艺室以满足客户的需求,并提供包括Magnetron Sputter Source、Cold-阴极Source和Vari-Pulse Sputter Source等选项。该单元还与传统的Metallization和Wet Clean Processes兼容,如PECVD、PVD、ALD和CVD。机器的模块化设计使用户能够调整工艺室配置,以满足他们特定的工艺需求。APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+是一种高度可靠且可重复的工具,提供多种配置,是半导体制造的理想选择。该资产还具有较低的预算和较快的周期时间,有助于最大限度地提高盈利能力并确保一致的流程性能。模型使用的先进质量控制机制和监控软件也确保了沉积过程的每一步都得到适当的监控和控制。它的模块化设计还允许将来根据需要进行性能增强和定制。这使Centura 5200 MxP+成为满足各种半导体制造需求的理想选择。
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