二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+ #9169931 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+是一种多室分子束外延（MBE）反应器，设计用于在各种基板上生长外延层，由AMAT制造。它在-220°C至700°C的温度下运行，能够生长硅和III-V材料的外延层。该设备是一种能够同时处理多个晶片的MBE沉积速率高达6.8Å/s的设备。它具有先进的多晶体光抗蚀剂（MCP）薄膜，用于外延层的精确选择面积增长（SAG）。AMAT Centura 5200 MxP+利用具有自动对焦单元的高功率视觉系统和晶圆线程机进行高效晶圆处理。该工具还可以与各种晶圆传递机制一起用于加载和卸载晶圆。此外，该资产还配备了高精度闭环运动控制系统和先进的互锁模型，以确保晶圆的精确定位。它有一个强大的旋转电动机，使晶片的精确旋转和晶片在加载和卸载空间的精确定位。它还具有传感器和光学反馈的综合设备，用于精确的温度和压力控制。坚固的真空系统提供稳定一致的生长环境，能够保持整个单元的清洁。APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+包括一台先进的基于PC的互锁跟踪机，用于实时监控和详细的过程优化。它还提供了易于使用的图形用户界面，便于操作和过程参数控制。反应室配有精密晶片加热器，用于非常灵敏的温度控制。它有多种不同来源的快门系统，能够精确控制沉积材料的供应。Centura 5200 MxP+提供无与伦比的性能,非常适合通过选择性区域外延实现的超晶格研究和3D集成电路等高级应用。它是一种可靠的工具，用于生产具有优异的层均匀性和光滑表面的高产外延层。它是一种用途广泛的资产，可以很容易地进行定制，以满足各种应用程序的要求。