二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+ #9351566 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+是一种多室外延反应器,设计用于允许在200°C至420°C的温度下在硅基板上生产级沉积薄膜和外延层。它采用了集成过程控制(IPC)技术,以便为客户提供一致且可重复的结果。AMAT Centura 5200 MxP+配备了多项功能,使其成为生产级沉积工艺的优越选择。APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+是一种考虑到批量生产而设计的灵活、通用的外延反应器。它是一种高吞吐量设备,能够处理各种基材尺寸、类型和厚度。该系统配备了先进的多室设计,为所有应用提供了卓越的工艺一致性。Centura 5200 MxP+为每个腔室构建了一个独立的等离子体源。等离子体源为每个工艺室提供独立的源功率,提高了沉积过程的稳定性和均匀性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+配备了多项功能,以确保一致且可重复的结果。该装置采用均匀膜厚度控制技术,可精确控制沉积参数。UFTC提供整个腔室的厚度控制,确保基板上所有点的薄膜厚度均匀。该机还包括闭环过程控制工具、精密过滤系统和先进的实时过程监控。AMAT Centura 5200 MxP+能够生产各种复杂的材料和组件。适用于半导体器件制造、MEM、微流体、计量等应用。资产支持一系列沉积过程,包括原子层沉积、化学气相沉积、溅射和电镀。最后,APPLIED MATERIALS Centura 5200 MxP+是为生产级沉积而设计的先进外延反应器。该模型具有集成过程控制(IPC)、精密过滤系统和均匀膜厚度控制(UFTC)等先进特性。Centura 5200 MxP+为客户提供可靠和一致的结果,并且适用于各种应用程序。
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