二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E #293659851 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E是一种等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，用于在半导体制造过程中在晶圆和其他基板上形成薄膜。AMAT Centura 5200 Super-E反应堆以高吞吐量、优越的均匀性、精准的控制和低的拥有成本为特点，成为寻求减少工艺时间和提高质量的制造商的热门选择。APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E的工作原理是首先使用远程等离子体源生产带电粒子的等离子体。该等离子体随后被吸入反应堆的反应室中，与同时引入的化学前体相互作用。前体反应产生所需的薄膜，当等离子体通过腔室被抽取时慢慢沉积在基板上。Centura 5200 Super-E反应堆提供了比许多类似的PECVD系统更大的灵活性，允许用户在几种不同的等离子体来源和前体的不同化学成分之间进行选择。这允许更广泛的可加工材料，包括用于纤薄晶体管的多晶硅和用于绝缘和保护电路的各种介电膜。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E反应堆也因其方面或"平面"等离子体共振耦合技术而提供了改进的工艺均匀性。在这个系统中，等离子体使用均匀的射频功率分布在晶圆或基板的整个表面维持在腔室内，导致过程中材料的沉积更加均匀。此外，AMAT Centura 5200 Super-E还设计用于提高吞吐量和工艺效率。它使用顺序淋浴头晶片，最多可容纳25个单独的项目，允许快速加载和卸载晶片。这样可以加快整个过程,而不会影响沉积的质量。总体而言,APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E由于其高通量、卓越的均匀性、工艺效率和广泛的可加工材料,是半导体制造的绝佳选择。它还具有很高的可靠性和成本效益,使其成为预算紧张的理想选择。