二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E #9116891 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E是一种高性能、高纯度、外延反应器，用于各种外延过程，如化学气相沉积（CVD）和金属有机化学气相沉积（MOCVD）。这座反应堆具有令人印象深刻的技术规格，能够以高达65纳米/分钟的速度增长，提供了极致的成本效益。AMAT Centura 5200 Super-E外延反应堆的设计使其成为加工多种材料的可靠高效的工具，包括硅、​​和砷化的。它具有一次式磁化器升降机，允许最大产量和质量与最小的停机时间。磁化器升起，使反应器中的生长区更加均匀。应用材料Centura 5200 Super-E外延反应堆具有一组氢化物气体喷射口，这些喷射口的定位使反应堆内的气体输送具有极好的均匀性。这确保了从LED和光子学到电力电子和无线通信等各种应用的任何基材的最高质量增长。Centura 5200 Super-E外延反应堆还设有定制的高温立式石英喷射器，设计用于提高工艺速率和产品产量，提高安全性和可靠性。这种喷射器允许高温气体的精确输送和控制，在氮化硅钝化等应用中很常见。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E外延反应堆为了优异的生长敏感性，配备了激光基温度感应设备。独特的温度感测系统有助于保持恒定的增长速度，导致过程结果一致，无论使用的基板或过程参数如何。外延反应器还有一个集成的超低振动单元，即使在强烈振动的情况下也能保证一致的增长性能。这台机器减少了产生的热量，从而提高了基材和晶圆的质量。AMAT Centura 5200 Super-E外延反应堆是外延生长等应用的通用可靠工具。反应堆令人印象深刻的特点使其非常适合各种应用，并且非常适合在实验室和生产环境中使用。它的高吞吐量和低成本使其成为质量和效率至高无上的高级应用程序的绝佳选择。