二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Ultima #9355275 待售
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ID: 9355275
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
HDP CVD System, 8"
NBLL Loadlock
HP Buffer robot
Chambers type:
Chamber A: Ultima STD
Chamber B: Ultima TE
Chamber C: Ultima STD
Chamber E: MSC
Chamber F: Orient
Missing parts:
Remote AC Rack
RF Rack
Cable
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Ultima Reactor是一种先进的晶体生长设备，为材料科学研究和工业应用的苛刻要求而设计。该系统保证了高端性能,外延生长过程的高产率,同时提供了温度均匀性、卓越的循环可重复性和极低的氧气水平。Centura由一对高性能扩散泵提供动力，由调节的氮气供应供气，能够处理广泛的前体材料。它由两个独立的程序分庭组成，由一个共同的移交分庭联系起来。一个腔室专门用于生长，另一个腔室用于清洁、装卸样品。转移室充当两者之间的缓冲区，使得晶片在腔室之间安全、高效的气密转移。AMAT Centura 5200 Ultima的每个腔室都配备了自己的气体和温度控制单元。每个都有自己的温度控制器，范围从200C到1000C，以及一套独立的16台高精度质量流量控制器，用于精确的流量控制和独立的气流调节。通过使用精密控制器，可以在整个过程周期中调节流量；Centura能够保持严密的温度均匀性窗口。Centura的高端性能得益于其先进的设计。为了安全和可靠起见，反应堆配备了冗余的关机，如果发生意外事件，将暂停该过程。该工具以真空密封为主，降低了污染风险。此外，资产具有自动设置功能，允许预先存储流程协议；这对于自动化和节省劳动力非常有用。Centura的顶级性能和可靠性使其成为材料科学高级研究和工业应用的理想选择。该模型的性能以最先进的设计和先进的工程技术为基础,这使其成为要求苛刻的客户的一个有吸引力的选择。
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