二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxP #9200052 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200 WxP是一种半导体工艺反应堆，旨在满足各种半导体制造应用的需求。该反应堆的设计在工艺稳定性和可重复性方面提供了卓越的性能。它具有易于使用和成本效益高的控制设备，能够对工艺参数进行精确的控制和微调，以确保设备的最大产量和可靠性。反应堆有两个主室，主室和更大的工艺模块。主室有两个源和晶片支架位置，带有专用晶片转移机器人。该工艺模块包括两个用于过程气体输送的输液单元：主晶片和源级，具有独立的晶片加热和气体溷合控制，以及温度和压力监测。AMAT Centura 5200 WxP被设计为在低温梯度、周转时间短的情况下为晶圆处理提供最大的均匀性和重复性。采用弧形气体分布机构，在热区实现了更好的均匀性和可重复性。等离子体也被仔细调节，以便更精确的控制。先进的计算机控制技术用于远程控制和先进的故障检测和警报，用于维护。APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxP经过精心设计,能够日复一日地可靠运行。它配有经过验证的气体阀系统和独特的热区反射镜装置，可以最佳地利用等离子体中的源气体。获得专利的双流磁性熄灭装置有助于保持腔室条件的最高精度。此外，该腔室采用模块化加热机设计，在工艺中断时可加快冷却速度并提高安全性。Centura 5200 WxP反应堆的设计符合可靠性和可用性的最高标准。它具有易于使用和直观的图形用户界面、自动晶圆处理工具以及强大的数据收集和分析包等高级功能。利用反应堆的高性能平台，客户以最低的维护成本获得最大的吞吐量、产量和设备可靠性。这使得AMAT/APPLICED MATERIALS Centura 5200 WxP成为先进半导体制造应用的理想选择。