二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ #9280941 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ反应堆是一种高性能设备，旨在使工艺工程师在大批量的高级包装操作中达到最佳制造效果。这座多站平台功能广泛，包括高速温度控制、工艺气体自动化、全闭环控制、快速腔室周转等。该系统集成到针对各种应用的综合工艺开发、生产和表征解决方桉中，包括3 D NAND、纳米线内存、MEMS、MEMS封装和RF/milimeterwave产品。AMAT Centura 5200 WxZ反应堆具有完全可定制和可扩展的工作站设计,使工程师能够根据不断变化的客户需求或不断变化的技术需求,例行地扩展其操作。这种灵活性可产生多达五个晶圆大小,并促进过程步骤之间的快速传输。它还拥有世界上最小的温度控制区，可实现最佳的温度精度和对关键过程的严格温度控制。APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ还具有一个新一代控制界面,该界面旨在通过在操作设备时提供操作员提示和直观提示,最大限度地提高流程工程师的效率。其功能强大的高级控制器和直观触摸屏通过实时数据反馈提供完整的车辆、晶圆和工具级控制,从而能够更快地响应不断变化的生产场景和实施过程改进。反应堆还具有捕获和存储过程配方、测量过程坡道速率以及在数据档桉中跟踪的能力。这台机器还提供了一个用户友好的气体输送模块，使工艺工程师能够定制和自动化其气体流动，从而提高操作的重复性和准确性。该功能的自动压力控制可保持稳定的气流,从而实现快速的处理吞吐量和均匀性。最后，Centura 5200 WxZ反应堆提供了先进的工艺优化能力，允许工艺工程师访问多个工艺优化曲线，以确保温度精度和一致性。该工具还包括用于快速模模和子模加工的内置批量提升技术和用于现场表征的全自动计量站。