二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega #293642211 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega是为低k介电CVD应用而设计的先进沉积反应器，在高级半导体加工中完成。该反应堆的设计目的是为需要制造复杂元件的工程师提供高通量和准确性。AMAT Centura 5300 Omega具有先进的温度控制技术以及精确的气体分配能力。它由一个温度控制的基板级组成，为所需的薄膜提供精确而均匀的沉积。由于能够在10秒内将基板加热到精确定义的工艺温度,因此此过程允许极快的循环时间。此外，精确的气体分布确保每一种基材都能得到均匀数量的所需沉积气体，从而提高产量。此外,APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega利用先进技术和复杂的过程控制系统的专有组合,为所有应用程序提供了精确度。整个装置包括一个高对流LPCVD室、尖端的PECVD反应堆以及安全和环境监测系统。这种组合允许更高的收益率和更好的可预测性。Centura 5300 Omega还结合了坚固、废水安全的结构和用户友好的界面,为环境带来了更高的生产力。反应堆的水密设计和不锈钢部件使环境不受材料污染，其多个装载室在设备运行过程中很容易换出。为了提高速度和准确性，反应堆还设有触摸屏显示屏，为操作员提供有关腔室状况的实时信息，并允许他们监测和控制过程。最后，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega反应堆是为最敏感的应用而设计的，提供了高精度和可重复性。为此，它采用低k电介质CVD技术防止带负电的颗粒造成芯片缺陷，并采用专有的过程控制系统，跟踪过程参数并对其进行调整，以提高精度。总之，AMAT Centura 5300欧米茄反应堆是一个高通量、低风险、精确的沉积单元，专门为需要最高精度的应用而设计。其温控机、气体分配能力、坚固的结构、用户友好的界面以及工艺控制工具，使其成为先进半导体加工的可靠高效选择。