二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP #293738973 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACP是一种先进的生产反应堆，旨在提供高通量的制造工艺能力和可靠性。该系统非常适合沉积通常用于半导体和光伏制造业的多个薄膜层。AMAT Centura ACP结合了石英"冷壁"主室、基于硅半导体的热壁敏感器和低热负荷、快速移动的线性扫描。这种设计元素的组合有助于减少制造缺陷、减少停机时间和提高产品一致性。ACP具有一个五位晶片负载锁，可一次快速方便地将多达五个晶片加载到主腔室中。主室呈圆柱形，包括热墙敏感器、石英盾构管和冷墙窗口。冷墙由一块石英组成，在操作过程中，石英的作用是使腔室的外部与工艺气体隔绝。该壁对于各种工艺化学可以互换，可以同时支持几种工艺配方。为提高工艺均匀性,ACP包括一个线性扫描功能,该功能可快速将感知器转换到整个工艺室的宽度上。这种快速移动的扫描使基板能够接受均匀的热处理，并最大限度地减少热点。它还允许以最小的停机时间对诸如功率、温度和压力等过程参数进行更精细的调整。ACP还具有堆迭等离子体源技术和先进的射频发电机。等离子源技术用于在腔内产生离子，以反应薄膜材料。通过使用两个独立配置的等离子体源，系统可以在室内产生汽化的物种，而不会产生任何破坏性的电子效应。并联射频发电机可为每个气源提供高达30kW的峰值功率，确保所有过程的可靠运行。ACP的多热区域控制器通过在整个沉积过程中精确控制单个区域的温度,提供了可观的吞吐量增益。此外,ACP还采用PLC编程实现了过程参数的自动序列和总体控制.所有这些特性都有助于确保过程沉积均匀、循环时间更快、产量提高。总之，APPLIED MATERIALS Centura ACP是一种可靠的高通量生产反应堆，旨在让半导体和光伏制造商完全控制其工艺。先进的设计元素可以提高工艺的均匀性和产量,减少制造缺陷并提高总体生产效率。