二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP #9314859 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACP是用于半导体制造的强大可靠的反应堆。ACP反应器设计用于沉积、蚀刻和加工各种集成电路的材料。其硬件功能包括:1)广义晶片尺寸范围:ACP可以容纳多种晶片尺寸,温度范围从标准室温到高温过程;2)精确温度控制:ACP具有闭环控制设备,确保所有过程的精确温度控制;3)高重复性:ACP的均匀流量发生器10保证了沉积和蚀刻过程中的高重复性;4)精密过程气体输送:ACP能同时精确输送多种气体,校准精度高达4西格玛;5)端点监测:ACP具有通过光学或其他方法监测端点条件的能力;6)流程监测:ACP配备了泄漏检查传感器和先进的流程监控系统(PMS),可实时精确监控流程。7)先进的安全联锁装置:ACP采用最先进的安全联锁机设计,保证工艺安全高效;8)自动基板装卸:ACP具有自动卡带装填工具,使得基板和卡带的装卸、交换效率极高;9)区域分段资源:非加太可以为等离子体、温度或压力分配区域分段资源;10)快速循环:AMAT Centura ACP旨在通过快速处理周期提供高吞吐量。综上所述,APPLIED MATERIALS Centura ACP反应器是一种先进可靠的设备,用于半导体制造材料的沉积、蚀刻和加工。它的硬件能力和安全联锁资产使它成为一个可靠和坚固的反应堆,可以在许多应用中使用。
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