二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA AP ADVANTEDGE G5 #9252301 待售
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AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA AP ADVANTEDGE G5反应堆是一种下一代加工设备,为先进的电子制造设定标准。这种多用途的加工工具使单晶片加工具有最大的能力,每晶片28件,可容纳从4"到8"的各种基材。它旨在方便任何技能级别的操作员操作,并具有直观的控制和对流程工具和信息的轻松访问。AMAT CENTURA AP ADVANTEDGE G5反应堆具有直接驱动主轴电动机,可精确定位和对准工艺反应堆中的底物。其独特的设计采用了轴流级和集成的辐射加热器,在整个晶片上创造出均匀的温度,允许过程均匀性和提高吞吐量。该工艺反应器由具有两个温度区的集成外壳保护,用于在加工过程中控制基板的温度。先进的冷却系统可确保可靠的过程冷却和温度稳定,并为不同的过程步骤提供独立的流动路径。该装置还具有多室负载锁和低真空烘烤功能,以防止加工室受到污染。应用材料CENTURA AP ADVANTEDGE G5反应堆包含了一套先进的过程控制算法和精密过程传感器。这确保了过程控制和结果以毫不妥协的准确性实现。该机器包括可编程的超高速控制信号以消除失真并确保可重复的性能,以及集成的刀具诊断程序以监控与流程基线的偏差。CENTURA AP ADVANTEDGE G5反应堆提供业界领先的工艺能力,包括用于CMOS图像传感器的高级异构薄膜工艺。先进的沉积和蚀刻工艺集成确保生产产量,并允许快速的工艺调整.它强大的射频供电功能使过程具有多功能性,集成了变频发电机和射频匹配网络,可实现变频运行。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA AP ADVANTEDGE G5反应堆是一种坚固可靠的工艺工具,为先进的电子制造设定了标准。其先进的功能、直观的控制和精确的过程控制算法使其成为需要高性能流程设备的客户的理想选择。
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