二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II #9209227 待售
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ID: 9209227
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Polysilicon etcher, 12"
(4) Process chambers: DPS-ll
With AGN
ESC
Missing parts:
Qty / Name / Part number
(1) / View window / 0200-36461
(1) / 10 Torr gauge / 135-00013
(1) / Ion gauge / 3310-0006
(1) / Bias match / 0190-03009
(1) / HV / 0090-00865
(1) / Foreline gauge /1350-01232
(1) / Ion gauge ISO valve / 3870-00021
(1) / Monochrometer EPD / 0010-05478
(1) / Slit door / 0020-64587
(1) / Slit door bellow / 0040-76767
(1) / NA Heated weldment TEE-KF 40 / 0190-23502
(1) / Heated weldment 7.09 KF 40 R / 0190-23503
(1) / MF Robot driver / 0190-17853
(3) / E84 Cables / -
(2) / Special gas pipes / -
2006 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura AP DPS II是一个为半导体工业中使用的加工材料而设计的反应堆。该反应堆能够处理多种材料,包括氧化物、氮化物、硅化物和其他半导体材料,精度和精确度都很高。AMAT Centura AP DPS II的力学是基于"动态压力传感系统"(DPS)。这种创新的系统允许在加工或生长材料时进行精确和可调节的压力控制。气体的压力和流动以及反应物的温度都受到监测,并保持在精确的水平。由于能够在不同的温度下处理材料,因此可以灵活处理所处理的材料类型。APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II还具有一种气体歧管,用于向反应堆室内提供一氧化二氮、氮气、氙气等反应物。这种气体歧管允许室内气体的受控流动,这有助于确保过程的准确性。另外,柱塞注入系统(PIS)对电荷材料的注入提供了精确的控制.Centura AP DPS II的设计也是为了最大的安全性而打造的。一个有弹性的安全屏蔽防止飞溅,和双charmonium反应室保持过程在最佳温度。此外,还在反应堆室中安装了一个远程快门,以确保在使用过程中完全封闭。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II中的先进自动化技术为用户提供了实时监控和远程控制反应堆过程某些方面的能力。这样可以提高准确性和控制率,同时还可以为用户提供有关其流程随时间变化的数据。在效率方面,AMAT Centura AP DPS II是同类产品中的佼佼者。其最先进的设计和先进的控制特性使其成为处理半导体材料的可靠可靠的设备。APPLIED MATERIALS CENTURA AP DPS II具有精确的压力控制系统和坚固的耐腐蚀结构,是半导体工业中使用的材料的生长、加工和表征的理想设备。
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