二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II #9392539 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura AP DPS II（Advanced Plasma Downstream Equipment）是一种为大批量生产光伏电池、OLED显示材料和各种其他薄膜产品而设计的反应堆。该反应堆结合了先进的等离子体沉积技术和简化的化学气相沉积工艺，以提高工艺的鲁棒性和控制力。该系统的特点是能够在各种各样的过程中提供可重复的结果，而且维护成本低。AMAT Centura AP DPS II反应器可用于多种薄膜沉积过程，如无定形硅（a-Si）钝化层、浅沟隔离层、化学气相沉积（CVD）氧化层等。该设备对这些过程中的沉积速率、温度和厚度提供可靠和准确的控制,使用户能够生产出具有精确控制和可重复性的高质量薄膜。该体系结构还促进氧化和钝化过程以及介电蚀刻过程。APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II反应器由一个工艺室、一个用于创建等离子体的高压发生器、一个用于创建射频等离子体的射频电源和一个用于创建化学气相沉积的MESA源组成。该工艺室设计为提供高容量的生产环境，大容积的工艺室为生产高密度薄膜沉积物创造了极好的环境。该机器还提供出色的晶圆操作功能，允许用户改变晶圆在工艺室内的位置，以支持各种工艺。反应堆配备了实时端点检测工具，用于控制沉积过程的结束，以及一系列过程监测和数据记录选项，以帮助监测和维护过程的可重复性。此外,资产还支持一系列流程参数,允许用户根据其特定应用程序自定义流程。最后,该模型采用灵活的缩放路径进行设计,允许用户在不大量投资新设备的情况下扩展生产。Centura AP DPS II反应堆是大批量生产光伏电池、OLED显示材料等薄膜产品的绝佳选择。由于其可靠、准确的过程控制，用户可以通过重复性达到高质量的效果，使得设备非常适合商业规模的应用。此外,该系统提供了较低的维护成本,使其成为许多商业应用程序的经济高效的解决方桉。