二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler #293637141 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler是一种先进的反应堆，设计用于制造一系列晶圆生产过程中的半导体。该反应堆结合了高通量、低压和优异的温度均匀性，使设备的产量达到最高。它是小批量和大批量生产过程的理想工具。AMAT Centura AP Enabler采用创新的反应堆腔室设计，温度范围在-90°至+750°C之间。它提高了耐腐蚀性，增加了气流，有助于在室内实现更高的均匀性。它还具有低发射率衬里，有助于保持温度均匀性和防止氧化。反应堆腔室还通过射频、脉冲加热和辐射加热区进行加热，以提供整个腔室的高效甚至加热。AP启用程序具有三级设计功能。这包括空间受限、完全控制压力、温度和流量控制,从而实现更好的配方一致性、改进的工作流程和高效的可扩展性。APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler具有无障碍的晶片处理设计,可快速高效地加载/卸载晶片,从而缩短吞吐量时间。该反应堆采用气体分配和储存系统技术，允许完全的过程灵活性和控制，以及各种独立的装卸入口。这样可以实现最高效的工艺工程。反应堆还提供多种底物加工溶液，包括真空分裂、氧化、扩散和低温化学气相沉积。Centura AP Enabler通过各种传感器提供集成的流程控制和监控,实现在线流程监控和实时流程控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler还设计了简化的操作员界面和自动化操作。这些特性使其成为制造高质量、高产量半导体产品的理想工具。