二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X #9303196 待售

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X反应器是一种化学气相沉积（CVD）反应器，能够用灵活的配方进行处理，在同一腔室中运行多个过程。反应堆是为各种条件下的设备制造而设计的，其特点是能够对先进工艺进行可靠的处理。它是一种节能反应器，可用于浅层沟槽隔离、层间介电、栅极介电、金属、高k等应用，以及虚拟场蚀刻。它采用均匀、不均匀和溷合气体流动，具有极好的加工稳定性。AMAT Centura AP Ultima X反应堆是一种单晶片负载设备，利用自动配方发生器，用户可以根据不同的工艺要求快速调整参数。机组上的气体系统设计具有最大的灵活性，允许气体的改变、溷合和穿梭。该反应堆使用Freon-13和其他基于氟龙的制冷剂，允许一定范围的温度设置。反应堆还有一个可视化模块，在运行配方时提供实时过程信息。反应堆兼具化学输送和自动化系统，在原子层沉积（ALD）和CVD过程中实现卓越的热控制。反应堆具有在启动过程前自动调整温度的功能。这样可确保从运行到运行的可重复性,并消除手动干预,从而实现更大的流程控制。应用材料Centura AP Ultima X反应堆的环境温度可调节至最高800 °C。再者，反应器还有一个温度控制机器，维持在工艺室内的温度，以在晶圆上不断的薄膜生长。APPLIED MATERIALS/Centura AP Ultima X是一种全面、节能、高性能的反应器,非常适合先进的工艺开发工作。其自动化程度高、热控制性好、灵活性强，非常适合高产、高性价比的设备生产。