二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP #293794760 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP是一种下一代反应器，旨在提高涉及薄膜沉积的沉积过程的吞吐量和质量。AMAT Centura AP是一种先进的平行反应器，非常适合半导体工业的大批量制造。应用材料Centura AP由一个带有装卸站的自动反应堆室组成。该腔室配置为处理多种工艺气体，如氧气、氮气和氙气，以及硅烷或四氯化物等附加气体。它配有一组电极以产生电场，目的是为了优化沉积过程。反应堆的自动化控制系统允许根据具体沉积任务精确调整压力和温度等工艺参数。操作时，过程气体被释放到腔室，在那里电场创造最佳的沉积条件。然后，反应气体进入基板，在基板上形成所需的薄膜。气体随后从腔室排出，腔室关闭，以确保用冷却气体适当清洁。Centura AP的设计易于维护,并具有自动诊断功能,使用户能够快速轻松地诊断和调整反应参数。此外，该系统的设计采用了抗污染结构，以帮助在沉积过程中尽量减少污染。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura AP的超小占地面积使其非常适合大批量生产线。反应堆还提供了对PVD（化学蒸气沉积）和ALD（原子层沉积）等过程的最佳控制，具有广泛的工艺参数和精确的均匀性。反应堆的高效性能和高吞吐量使其成为半导体工业具有商业吸引力的解决方桉。