二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ASP+ #9116838 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ASP+是一种设计用于半导体晶圆加工的高效化学气相沉积（CVD）反应器。先进的反应器能够进行外延生长、多晶硅沉积和异国薄膜形成等先进沉积过程。AMAT Centura ASP+反应堆专为满足大批量生产需求而设计，提供卓越的生产率、灵活性和优越的工艺控制。应用材料Centura ASP+反应器具有优化的设计,可提高膜的完整性.反应堆有一个超长的半导体室，可以增强热隔离和均匀性。先进的设计允许快速轻松地集成到现有的制造基础架构中。此外,Centura ASP+反应堆还采用了高温脉冲感应沉积（HTPID）和快速缓冲调节（QBA）等先进技术,以改进生产控制和可持续性。反应堆装有多轴精密机动化晶圆输送系统。这样可以确保晶片的精确放置和统一处理,而无需手动处理晶片。还提供先进的等离子体源，实现高密度等离子体（HDP）和低压可变半径电子回旋共振（LP-VREC）等先进的plasma−enabled过程，进一步增强过程可靠性和控制。Centrea ASP+反应堆还具有自动传感器和警报功能,可监控过程值,并提供实时数据和远程监控功能。高级数据采集和控制功能使操作员能够快速发现流程参数的变化,并提供必要时采取纠正措施的方法。此外,用户友好型软件减少了培训时间,并提高了操作员的工作效率。综上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ASP+反应堆为半导体晶圆加工提供了世界级的解决方桉，提供了卓越的工艺控制、可靠性和效率。先进的特性和技术的结合可以在不影响生产力的情况下实现更好的产量和统一性。该反应堆的设计易于融入现有系统，为大批量生产提供了可靠、经济高效的解决方桉。