二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DCVD / DXZ #9293854 待售

AMAT Centura DXZ DCVD/Reactor，或称CVD Reactor，是一种先进的沉积设备，为异构应用提供精确、高质量的薄膜。该系统采用优质组件构建,设计为在800摄氏度以下的温度下运行,提供精确的厚度均匀性和对过程的精确控制。CVD反应堆的设计目的是利用高质量的产品最大限度地提高正常运行时间和提高产量。该设备的独特功能包括自动化流程启动、强大的流程监控功能,以及一台可选的熄灭恢复机,可实现配方转换。此外，该工具还具有精确控制、高稳定性、可容纳无限制腔室载荷的加热环境腔室和可实现高通量的两级工作穿梭器。资产的集成硬件具有专门设计的磁化器和加热器杆,可提供高效、均匀的基板加热,以及对温度和压力的精确控制。磁感器的设计进一步优化了薄膜沉积,控制了沉积速率和特征尺寸.无电极静电卡盘允许处理低表面张力基板。CVD反应堆采用独特的多区数字控制预热模型，允许最多9个单独的预热区，其设计目的是在整个热范围内提供一致的温度控制。利用多区预热技术，在不牺牲温度控制的前提下，可以实现不同工艺选择，从而大大提高生产吞吐量。先进的安全和监测功能，例如用于控制压力和反应性气体的气闸设备，使操作更加安全和高效。该系统的设计符合最高的安全和性能标准，并已获得用于腐蚀性气体和爆炸性气体的认证。此外，CVD反应堆还配备了实时、特定于气体的监测器，用于测量气体分布、连续监测工艺气体和压力测量，从而能够快速检测工艺故障。APPLICED MATERIALS Centura DXZ DCVD/Reactor是一种先进的沉积装置，为一系列异构应用提供卓越的精确度和优异的薄膜质量。其先进的安全性和监控特性使其非常适合用于危险材料,而其集成的硬件和多区预热机则确保了精确的温度控制和优化的吞吐量。