二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093317 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH系列反应器是一种用于高温晶圆加工的真空设备。它是一个先进的系统，以小巧、用户友好的设计提供可靠和高效的操作。它被设计用于各种晶圆尺寸，如200毫米、300毫米和大直径晶圆。该设备具有高达1100 °C的高温能力,为高性能工艺应用程序提供了范围。AMAT Centura DLH系列反应堆通过其独特的设计和配置，结合了强大的热性能和出色的机器稳定性。集成反应堆设计包括一个低热质量的微型管式加热器，内建石英管/元件，用于快速热处理（RTP）。微型管状设计和硅化物保温材料促进了卓越的热响应，实现了卓越的温度精度和严密的工艺窗口。DLH加热元件也很高效，提供高功率输入和快速加热速率。此外,该工具还具有强大的离散级电源控制功能,可对过程进行精确控制。集成过程控制单元（PCU）为快速改进过程提供了精确的自动化。APPLIED MATERIALS Centura DLH系列反应堆提供了一系列先进的安全特性。完整性检查在晶圆处理之前验证每个资产的性能条件。此外,安全联锁、热电偶和进气压力监测可以保护和监测热性能,以实现卓越的安全性。最后，可以采用多种选项，如自动压力控制、增强PID控制、石英进气管等，进一步提高模型性能。总体而言，Centura DLH系列反应堆是一种用于高温晶片加工的强大、高效、安全的设备。它具有良好的散热性能和严密的过程窗口和强大的过程控制。其紧凑的设计提供了节省空间和方便用户的操作。最后,它的一套安全功能提供了无与伦比的安全性和对系统性能的信心。
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