二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093319 待售
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ID: 9093319
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
CVD System, 8"
Process: ILD Deposition
Centura1 Frame
NBLL
(3) DLH
(1) MC/D
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH是一种用于半导体制造设施中晶圆加工的反应堆。这座反应堆有一个直径约200毫米、高度约200毫米的加工室，并使用氦气冷却，提供室内低环境压力。反应堆还提供超高真空操作，可以在低至10-7托尔的基压之间运行。AMAT Centura DLH旨在为工程师和技术人员提供处理硅片的各种选择和能力。这包括高吞吐量能力、对温度、气体输送和压力的精确控制以及在各种工艺条件下的操作能力。反应堆允许晶圆在高达1200 °C的温度下加工，可用于金属沉积、介电沉积、退火和蚀刻。对于金属沉积，反应器能够沉积铝、铜和钛并具有极好的均匀性。此外，反应堆为氧化物和氮化物等介电沉积以及抗蚀剂和多晶硅提供了极好的均匀性。应用材料Centura DLH反应器利用冷却的挡板和定向喷嘴在工艺室内提供均匀的流动。这确保了晶片表面的均匀沉积速率，也有助于消除腔室中的颗粒和其他污染物。反应堆还包括均匀性控制、晶圆温度控制、工艺优化和实时控制等一系列先进特性和能力。这些功能使用户能够优化其流程以提高吞吐量和提高产量。此外，Centura DLH反应堆设计用于在维护和停机期间快速重新激活和清理工艺室。这样可以减少停机时间并提高硅片处理的生产率。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH是一种可靠、高效的反应堆，用于硅片制造的各种工艺。这座反应堆拥有广泛的先进特性和功能，旨在为用户提供获得高质量成果所需的灵活性和性能。
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