二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPN #9156591 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPN是一种先进的、多合一的沉积反应器，设计并用于半导体器件制造过程。这种沉积反应堆是最先进的，具有多区温度控制、湿蚀能力、高沉积速率和低颗粒物生成等多种先进特点。AMAT Centura DPN设备包括一个垂直磁控管式阴极加上一个用于精确温度控制的多区基板加热器，全部集成到一个单一的、功能齐全的处理室中。该系统提供卓越的薄膜均匀性和出色的工艺可重复性,以及一系列可选功能,包括远程注气、自动装卸能力、现场计量和现场节流。APPLIED MATERIALS CENTURA （DPN）的多区温度控制和主动阻力控制允许均匀的温度和基板均匀性。应用材料Centura DPN能够在各种几何形状上保持均匀温度,精度± 2.0 °C,表面温度均匀度± 1.0 °C。这提供了出色的工艺控制,使沉积速率和均匀膜.Centura DPN具有高速、10步连续沉积能力,具有卓越的吞吐量能力。由于先进的过程控制算法、沉积均匀性、温度均匀性和过程可重复性的控制,此单元在实现高吞吐量的同时不牺牲性能。CENTURA （DPN）针对先进的半导体器件制造进行了设计和优化，为跨多个行业的各种应用提供了理想的解决方桉。这种沉积反应器提供了优良的工艺重复性和均匀性，以及高通量率，使其成为最苛刻的半导体器件制造应用的理想基材加工机。