二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G2 #9188278 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G2是为半导体加工而设计的热反应器。它由一个高性能的多区工艺模块提供动力，该模块能够达到1200°C的温度，用于基板加工。该系统采用双壁不锈钢真空室和可提供高达200吨真空容量的集成真空助推器。AMAT Centura DPS G2包括专用的原位气体净化技术，以及晶圆装卸自动化系统。反应堆室由一个氧化铝陶瓷内室和三个独立的外部部分组成，每个部分都有一个互锁的顶盖。顶盖的石英窗便于观察反应室的内部，而剩余的外壳包含冷却通道，惰性气体可通过该冷却通道循环以进行最佳温度控制。Centura具有创新的"绿洲效应",它使用获得专利的原位气体净化技术来清洁和监测室内的气体水平。该工艺为优化室内污染控制和晶圆质量提供了必要的环境控制。应用材料Centura DPS G2比传统热反应堆具有几个明显的优势。不仅真空容量比等效传统仪器高出7倍，还具有集成超高纯度气体输送系统、高速轮廓扫描、多区基板温度调节等特点。此外,系统还采用了先进的电源控制功能,使用户能够精确地确保每个基板的最佳工艺条件和可重复处理。Centura DPS G2用于半导体加工的灵活性进一步增强,它可以适应一系列单步和多步工艺解决方桉。这包括低温制造、高温退火、氧化、氮化和选择性外延生长等专门应用。多区温度调节确保每种基板都能接受个性化的热处理，使其能够执行各种不同的处理方桉。总体而言，AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS G2是一种理想的热堆，适用于各种半导体工艺应用。它广泛的可控性、坚固的结构和较高的操作能力使其成为产生一致和可靠的工艺结果的可靠和强大的工具。