二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9188283 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA是一种用于制造集成电路的半导体反应堆。它是一种单晶片、多气体、并联等离子体蚀刻/沉积系统，主要用于开发最新的高性能设备。该反应堆自动化程度高，稳定性提高，安全特性增强。该反应堆具有一个热晶片处理系统和多种工艺气体，可用于蚀刻或沉积晶片表面的金属层或氧化物。使用多种气体的能力允许广泛的加工可能性，例如控制金属硅化物的生长，允许底物氧化，造成金属区域更大的退火等。单晶片处理系统允许高度控制腔室的位置，如倾斜、角度和焦点，这对于各层的均匀厚度和均匀性至关重要。该反应堆的高级加工能力使晶圆制造过程的产量达到最高水平。AMAT Centura DPS G5 MESA采用温控工艺室设计，提供均匀的温度分布，具有高度的稳定性。这样可以确保腔室保持在整个工艺周期所需的温度。此外，该腔室还包含一个自动控制的气隙、一对发射极电极和一个变频射频电源。该反应堆还具有内置的基于直接读取微处理器的多参数控制器，能够存储多达2000种配方，以及其他功能。这些特点，加上反应堆运行成本低、热均匀性好、热漂移低、任务可靠性好、维护方便，使得应用材料Centura DPS G5 MESA成为各种制造工艺的首选。