二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383826 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA（金属蚀刻选择区）是一个高度先进和用途广泛的反应堆平台，设计用于高级蚀刻和沉积过程。该反应堆属于第五代AMAT Centura DPS系列系统，与前一代反应堆相比，具有显着和可靠的性能优势，并已在业界进行了多年的测试和验证。AMAT Centura DPS G5 MESA反应堆建在一个大的底座上，允许广泛的工艺流程和多用途的设备灵活性。这座反应堆还配备了多种气体和流体入口和出口，使各种配置适合各种工艺要求。反应堆还采用模块化设计，为不同的工艺步骤设置了单独的腔室，以及可设置的工艺模块，可以使用正面向下或侧面向下的晶圆配置。反应堆的设计还包括一个先进的、易于使用的控制系统，它允许许多层次的自动化，并附带各种过程监控和记录工具。用户友好界面还便于监测和跟踪关键单元参数，以确保持续可靠和可重复的流程。反应堆具有超高的低能等离子体源，以及宽广的射频输送功率水平，使其交付过程时间明显快于同级别的系统。此外，反应堆的高性能等离子体源使其能够处理最苛刻的过程，比如那些涉及高温光刻过程的过程。反应堆还附带了几个高性能的过程端点检测系统，包括行业标准的等离子体发射检测机（PED）、涡流检测（ECD）、高灵敏度光发射检测工具（OED）。这些端点检测系统的功能是检测流程步骤何时完成,并帮助防止流程变化或缺陷生成。最后，APPLIED MATERIALS CENTURA DPS G5 MESA系列反应堆还包括一系列支持和维护选项，如工艺配方生成和优化服务、现场专家分析和故障排除以及延长保修和服务计划。反应堆在运行和维护以及质量保证和合规性方面也符合最高的行业安全标准。